产品特色:
基座、立柱、工作台全机采用精密00级花岗岩,降低形变系数,稳定性高;
高精度伺服马达传动;
七海独家专利光罩技术测量仪,无光学尺和编码器,无阿贝误差,精度不受机械误差影响;
技术突破,悬臂式大行程影像测量仪,高精度,无累计误差;
可搭配激光测头应用;
搭配七海专业版测量软件EF系列软件;
芯片、电路板、铭版、印刷、Touch Panel等专用测量机型。
技术参数:
型号 |
GM7060 |
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行程(mm) |
X |
700 |
Y |
600 |
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Z |
100 |
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外型尺寸 |
1860x1270x1680 |
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工作台大小 |
1020x920 |
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工作台承重(kg) |
5kg |
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机台重量 |
800kg |
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轴向测量精度 |
XY(3.0+L/200)um |
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平面精度 |
< 5 μm |
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控制方式 |
自动 |
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摄像机 |
SOV-A级高解析1/3” 彩色CCD |
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SOV-A 级测量专用型镜头 |
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光源 |
轮廓光 |
LED,亮度连续可调 |
表面光 |
LED,亮度连续可调 |
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放大倍数 |
约20-165倍(光学放大倍率为0.4-3.4倍) |
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选配功能 |
七海 16向全视角旋转灯源系统 |
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七海 12段自动变焦镜头 |
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触发测头探针组(智慧型探针测量系统) |
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激光位移感测系统 |
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工作距离 |
90mm |
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电源 |
220 V ± 10% ,50 Hz(用电设备要求接地可靠:接地电阻小于4欧姆) |
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工作环境 |
20℃ ± 2℃,温度变化<2℃/hr,湿度45% ~ 75% |
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振动<0.002g,低于15Hz |